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阐述了金刚石薄膜中成分,结构、夹杂尤其是化学与结构缺陷对热、电、光学、机构、化学性质的影响。介绍了薄膜品质检测、表征方法的新进展,表明品质表征有向点缺陷类别及其浓度分布、掺杂和偏折方向深入的趋势。为了控制品质、增强薄膜特性,开发新的器件,必须探求更完善的分析方法。建议在SEM-WDCL(阴极荧光扫描电子显微分析装置)上,在确保‘CL’(阴极荧光)最高收集效率条件下,力求不降低原有SEM的空间分辨率