高级扫描系统混合工艺的多路传输本征探测器阵列及信号处理方案的进展

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多路传输本征探测器阵列及信号处理方案(MIDASP)的目的是为第二代红外前视系统的混合式碲镉汞探测器/硅信号处理器焦平面提供基本制造工艺。该方案涉及四个方面:1)3~5微米碲镉汞光电二极管;2)探删器/CCD 的机械互连;3)探测器/CCD 的电气耦合;4)小型焦平面结构的制造与评价。研制成的探测器/CCD 具有若干个8位 TDI(延时积分)通道,并向单路输出端作多路传输,其总体 D~*达1×10~(12)厘米赫~(1/2)/瓦。 The purpose of the multiplexed intrinsic detector array and signal processing solution (MIDASP) is to provide a basic manufacturing process for the hybrid HgCdH detector / silicon signal processor focal plane of the second generation infrared front view system. The program involves four aspects: 1) 3 to 5 microns of HgCdTe photodiodes; 2) mechanical interconnection of detector / CCD; 3) electrical coupling of detectors / CCDs; 4) manufacture of small focal plane structures Evaluation. Developed detector / CCD has a number of 8-bit TDI (delay integration) channel, and to a single output for multiplexing, the overall D * * 1 × 10 ~ (12) cm ~ 2) / Watt.
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