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双极数字/模拟电路的相容工艺探讨
双极数字/模拟电路的相容工艺探讨
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fakeshushu
【摘 要】
:
实验研究了具有代表性的几种双极相容工艺,认为注磷调整法与现行双极工艺相容性好,在3种电路中应用获得成功,本文叙述了这一工艺方法和实验结果。
【作 者】
:
雷培明
胡国元
段春丽
【机 构】
:
航空航天部骊山微电子学研究所,航空航天部骊山微电子学研究所陕西临潼710600,陕西临潼710600
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
双极电路
数字/模拟
相容工艺
Bipolar Circuit
Digital Analog
Cormpatible Process
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实验研究了具有代表性的几种双极相容工艺,认为注磷调整法与现行双极工艺相容性好,在3种电路中应用获得成功,本文叙述了这一工艺方法和实验结果。
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