1064 nm偏振薄膜的激光损伤特性

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【摘要】

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实验研究了偏振膜的0°和56°角激光损伤特性.研究表明,对于未镀SiO2覆盖层的偏振膜,S和P激光0°和56°角入射的损伤图貌为疤痕和膜层剥离,而对于镀SiO2覆盖层的偏振膜,0°和

【作者】

：

胡建平马平许乔张问辉段利华

【机构】

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成都精密光学工程研究中心

【出处】

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中国激光

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

激光技术激光损伤偏振膜 Siq覆盖层

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实验研究了偏振膜的0°和56°角激光损伤特性.研究表明,对于未镀SiO2覆盖层的偏振膜,S和P激光0°和56°角入射的损伤图貌为疤痕和膜层剥离,而对于镀SiO2覆盖层的偏振膜,0°和56°S偏振光的激光损伤主要为疤痕,56°P偏振光的激光损伤为30～50μm的孔洞,孔洞形成的原因与深入基片亚表面的抛光粉微粒有关.

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