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介绍了用电子束蒸发制作ＷＯ３气敏薄膜，溅射掺Ａｕ、膜的热处理工艺以及对Ｈ２Ｓ气体的敏感特性测量的初步结果。着重讨论了ＷＯ３膜的稳定化过程。
电子束蒸发WO3—基气敏薄膜特性的研究
【摘 要】
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介绍了用电子束蒸发制作ＷＯ３气敏薄膜，溅射掺Ａｕ、膜的热处理工艺以及对Ｈ２Ｓ气体的敏感特性测量的初步结果。着重讨论了ＷＯ３膜的稳定化过程。
【机 构】
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华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金
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