【摘 要】
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用电弧离子镀的方法在塑料表面制备了TiN镀膜。采用扫描电子显微镜、X-射线衍射仪和电子散射能谱等分析手段对膜层的形貌、结构、成分及含量进行了表征。实验结果表明，镀膜结
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用电弧离子镀的方法在塑料表面制备了TiN镀膜。采用扫描电子显微镜、X-射线衍射仪和电子散射能谱等分析手段对膜层的形貌、结构、成分及含量进行了表征。实验结果表明，镀膜结构致密、表面有一些白色的、形状不规则的颗粒；TiN膜中含有一定的Ti成分；在塑料表面镀TiN膜层后，体系中存在一定程度的短程有序结构。
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