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采用单点金刚石切削技术，通过合理的刀具设计、夹具设计及工艺过程设计，确定了加工工艺参数，完成了厚度几μm至几十μm的无氧铜多台阶靶的制备。通过触针式轮廓仪，台阶仪，白光干涉仪对表面轮廓及粗糙度进行了测量。结果表明：通过单点金刚石切削技术加工成形的铜多台阶靶，各台阶表面均方根粗糙度小于50nm，工件表面轮廓平直，台阶垂直度较好。采用阿基米德原理对材料密度进行测量，加工成形后密度为（8．945土0．074）g／cm^3，接近材料理论密度。