Soft X-ray Holographic Microscopy with Sub-micrometer Resolution

来源 :Chinese Journal of Lasers | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhushaoxiang2009
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Gabor X ray in line holograms are recorded with a photoresist at Hefei National Synchrotron Radiation Laboratory. An Atomic Force Microscope (AFM) is used to read the X ray holograms of minute granules recorded on photoresist PMMA. Digitized hologram is reconstructed by numerical method. The granules with a size less than 0.3 μm can be resolved in the reconstructed image. So the estimated resolution reaches the level of submicrometer. Gabor X ray in line holograms are recorded with a photoresist at Hefei National Synchrotron Radiation Laboratory. An Atomic Force Microscope (AFM) is used to read the X holograms of minute particles recorded on a photoresist PMMA. Digitized hologram is reconstructed by numerical method. The granules with a size less than 0.3 μm can be resolved in the reconstructed image. So the estimated resolution reaches the level of submicrometer.
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