新的1.62微米波长InGaAsP/InP隐埋异质结激光器

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【摘要】

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最近日本东工大成功地制备了1.62微米波长的 InGaAsP/InP 隐埋异质结激光器。器件的条宽3～5微米,腔长310～330微米,最低的室温脉冲阈值电流为25毫安,室温连续波阈值为37毫安,三

【作者】

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刘旭东

【出处】

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半导体情报

【发表日期】

：

1980年6期

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最近日本东工大成功地制备了1.62微米波长的 InGaAsP/InP 隐埋异质结激光器。器件的条宽3～5微米,腔长310～330微米,最低的室温脉冲阈值电流为25毫安,室温连续波阈值为37毫安,三倍阈值以上获得单横模工作。器件的工艺步骤是:在含有防回熔层的双异质结片子上用化学汽相淀积法形成 SiO2膜,并用普通的光刻技术形成沿（110）方向的5～8微米宽的条,接着用 Br-CH3OH 腐蚀2微米深,然后用4HCl-H2O 溶液在0～1℃下选择腐蚀2分钟以去除 InP 部分(腐蚀

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