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硅光技术是硅技术与光电技术的结合,具有很大的应用前景。硅光器件通常需要先在晶圆上进行测试、筛选后再进行封装。本文介绍了硅光技术的发展,以及硅光器件的典型测试参数和测试方法,并对硅光晶圆测试中的光路耦合、波长扫描、高频参数测量等挑战以及解决方案进行了深入探讨。
硅光技术与测试挑战
【摘 要】
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硅光技术是硅技术与光电技术的结合,具有很大的应用前景。硅光器件通常需要先在晶圆上进行测试、筛选后再进行封装。本文介绍了硅光技术的发展,以及硅光器件的典型测试参数和
【机 构】
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是德科技（中国）有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2020年12期
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