反射镜用Kelvin支承定位精度研究

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针对ICF装置中大口径反射镜等光学元件快速更换和精确定位的要求,彩精确约束理论设计了Kelvin运动支承,建立了几何参数矩阵对结构的定位精度进行了理论计算,分析了产生误差的原因并对结构进行了改进,采用激光客观散班法对样件的定位精度进行了测试,试验数据统计表明结构重复定位精度(±3σ);平移±6.2μm,转角±2.3"。
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