轮廓拼接在光学非球面超精密坐标测量中的应用

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针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。 Aiming at the problem of high precision detection of optical aspheric surface, the separation and compensation of the straightness error of the ultra-precision guideway by the contour splicing technique, the expansion of the sensor range during the measurement of the large aspheric mirror and the detection of high steeply conformal optical aspheric surface Three aspects of the application. The experimental results show that the method of contour splicing can reconstruct the contour with high precision and extend the measurement capability of the system. The method is simple and practical.
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