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采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量,对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究。使用Matlab软件,选取了两种面型结构函数,仿真得出重构的面型,选取5个参考点进行了对比。研究结果表明,白光干涉测量具有高精度、测量时间短、相对误差小于0.5%。
白光干涉法三维面型重构仿真研究
【摘 要】
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采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量,对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究。使用Matlab软件,选取了两种面型结构函数,仿真得出重构的面型,选取5个
【机 构】
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烟台大学光电信息科学技术学院
【出 处】
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光电技术应用
【发表日期】
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2014年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（60277023）, 山东省自然科学基金项目（ZR2011FM007）
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