【摘 要】
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阐述半导体生产中,连环许容时间区段某工序设备异常时,实现产品实时调度的管理方法.通过设置产品在各许容时工艺段的品质风险等级,在实时调度中实现对不同区段在制品的风险评估和决策.
【机 构】
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上海华力集成电路制造有限公司,上海 201314
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阐述半导体生产中,连环许容时间区段某工序设备异常时,实现产品实时调度的管理方法.通过设置产品在各许容时工艺段的品质风险等级,在实时调度中实现对不同区段在制品的风险评估和决策.
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