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本文介绍了在半导体激光光纤与位相板相结合的准直情况下，利用线阵ＣＣＤ控制器测量大型工件形位误差遇到的光强变化而引起测量误差的问题，并对用线阵ＣＣＤ进行衍射信号测量的原理和特点作了分析，根据ＣＣＤ的工作原理和特性，提出了利用自动控制ＣＣＤ积分时间的方法，使ＣＣＤ输出的信号峰值保持恒定，提高了系统的测量精度。