【摘 要】
：
报道了悬臂梁接触式RF-MEMS开关的设计、制作和测试结果.整个工艺采用表面微机械加工技术,利用正胶作为牺牲层.其中开关的悬臂梁采用了'三明治'式的结构,即上下两层
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
报道了悬臂梁接触式RF-MEMS开关的设计、制作和测试结果.整个工艺采用表面微机械加工技术,利用正胶作为牺牲层.其中开关的悬臂梁采用了'三明治'式的结构,即上下两层为SiO2,中间夹着一层Cr/Au合金,这种结构可使梁合为一体,且具有很好的机械性能.对350 μm长、200 μm宽、1.7 μm厚、且距底电极为2.5 μm的悬臂梁开关进行测试,其驱动电压约为20 V,在同类开关中是较低的.
其他文献
研究了SiC微粒的质量浓度对化学镀Co-P-SiC复合薄膜的厚度、硬度、表面形貌和磁性能的影响。研究发现：适当的SiC的质量浓度，有利于提高薄膜的沉积速率，细化表面颗粒，从而提高薄膜
依据1998-2010年中国的省级数据，利用面板协整分析方法，对中国区域旅游业发展对林业经济增长的长期效应进行了经验研究。结果表明，无论在全国范围还是在东、中、西部地区，林业产
<正> 种子萌发时的含氮化合物变化的研究,很早就已开始,至今更为广泛。早期有关的这方面工作,Chibnall于1939年曾作了詳尽的評述。往后,有Brown、Folkes和Yemm以及Sircar等人
从涉农纠纷的现状和涉农纠纷化解机制的现状出发,分析涉农纠纷化解机制存在的问题及完善多元主体互动化解涉农纠纷的必要性,优化不同主体在化解涉农纠纷过程中的职能.
摩托车尾箱下盖点云数据经过点数据的处理、曲线的构造、曲面的构造及产品结构的构造几步便可完成产品的逆向设计,构造的产品结构要符合实际的专业需要。
采用文献资料法、问卷调查法等，探索青少年接受科技体育项目校园、社会教学推广的影响因素。主要结论：青少年科技体育接受模型中对科技体育项目的知觉易用性通过知觉有用性对参
党的十八大报告提出＂提高领导干部运用法治思维和法治方式的能力＂;十八届四中全会通过的《中共中央关于全面推进依法治国若干重大问题的决定》（以下简称《决定》）再次提出：党员干
概述了井筒式地下连续墙基础的概念、构造、受力特点、设计内容和方法,介绍了该型式基础的设计实例。
当前,中国的水务市场大体包括设备制造、工程建设和投资运营服务三种主要业态。其中水务投资运营服务即城市水务服务,是目前中国水务市场的龙头。水业发展面临的政策环境中国