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从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统.
新型硅芯晶体炉的开发与设计
【摘 要】
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从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统.
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备研究所,西安理工大学机仪学院,西安理工大学晶体生长设备研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年8期
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