论文部分内容阅读
文中研究了聚合物基双层悬臂梁在光强和温度变化的激励下的挠度特性,并利用建立的数学模型通过采用Matlab程序进行了模拟和优化。实验得出:在热激励下聚合物(PMMA)悬梁镀金以及悬梁和金属膜厚度比值为0.1时最优化;在光激励下聚合物悬梁镀铬以及悬梁和金属膜厚度比值为0.03时最优化。研究为制作聚合物双层传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础。