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期刊论文
SEM与TEM半导体分析的比较
SEM与TEM半导体分析的比较
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:IDYLL123
【摘 要】
:
本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点,分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体的显微分析中分别承担着各自的任务,它们之间的关系是互
【作 者】
:
胡刚
陈一
等
【机 构】
:
复旦大学材料系200433
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
SEM
TEM
半导体
扫描电镜
透射电镜
显微技术
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本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点,分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体的显微分析中分别承担着各自的任务,它们之间的关系是互补的关系。
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