【摘 要】
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为了快速、准确地测量半透明涂层的厚度,提出了一种基于脉冲红外热波的测量方法.建立了半透明涂层半无限大脉冲热传导简化理论模型和半透明涂层的脉冲红外加热双层物理模型,理论分析和数值计算结果表明:半透明涂层的厚度与表面温度的峰值时刻在对数坐标上呈现线性关系,利用这种线性关系可以直接测量半透明涂层的厚度,而不再需要在样品表面喷涂黑漆以避免半透明性的影响.实验上建立脉冲红外热波系统并制作了厚度连续变化的半透明涂层试件,得到的厚度误差小于5％.结果显示该技术具有快速和非接触式测量半透明涂层厚度的潜力.
【机 构】
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南京理工大学理学院,江苏南京210014;电子科技大学光电科学与工程学院,四川成都611731
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为了快速、准确地测量半透明涂层的厚度,提出了一种基于脉冲红外热波的测量方法.建立了半透明涂层半无限大脉冲热传导简化理论模型和半透明涂层的脉冲红外加热双层物理模型,理论分析和数值计算结果表明:半透明涂层的厚度与表面温度的峰值时刻在对数坐标上呈现线性关系,利用这种线性关系可以直接测量半透明涂层的厚度,而不再需要在样品表面喷涂黑漆以避免半透明性的影响.实验上建立脉冲红外热波系统并制作了厚度连续变化的半透明涂层试件,得到的厚度误差小于5％.结果显示该技术具有快速和非接触式测量半透明涂层厚度的潜力.
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