表面形状测量相关论文
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要.根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变......
随着现代工业的不断发展，各种自由曲面被广泛应用于航空航天、汽车、叶轮机械等行业。由于对自由曲面质量要求的不断提高，实现自由曲......
从等厚干涉的解释出发,推导出了二维空间的相干方程.基于空间相干方程,利用SLM产生了一个新的空间非相干光源.同时提出了新的相移......
本文介绍一种采用白光干涉仪进行三维表面形状测量的光学系统。近年来出现了许多不同的方法来分析白光干涉测量法测得的表面轮廓数......
本文介绍测量通明元件如液晶显示玻璃板形状与厚度非接触式光学传感器。测量透明板形状或厚度的常规方法是采用接触式传感器例如线......
<正> 1 前言在当今产品不断追求小型高精度化的产业界,制造精度管理,产品质量管理也要求提高。表面形状的测量方式从以往的干涉式......
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提出了一种基于多周期条纹投影技术和位相逆推法的物体表面形状测量法,该方法通过分析干涉条纹的位相分布来测得物体的表面形状。......
