【摘 要】
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该型传感器是继研制出2CYJ型溅射薄膜压力传感器之后的又一种应变式溅射薄膜压力传感器,这种传感器用于大压力测量。它具有精度高,迟滞和蠕变小,长期稳定性好等优点。精度可
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该型传感器是继研制出2CYJ型溅射薄膜压力传感器之后的又一种应变式溅射薄膜压力传感器,这种传感器用于大压力测量。它具有精度高,迟滞和蠕变小,长期稳定性好等优点。精度可优于0.15%,重复性、迟滞可优于0.05%,工作温度范围为-55℃～+150℃。
This type of sensor is the second strain type sputtering film pressure sensor developed after 2CYJ sputtering film pressure sensor, which is used for large pressure measurement. It has the advantages of high precision, small hysteresis and creep, long-term stability. Accuracy can be better than 0.15%, repeatability, hysteresis can be better than 0.05%, the operating temperature range of -55 ℃ ~ +150 ℃.
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