【摘 要】
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Y2000-62005-985 0018034硅微机械加工超声换能器=Silicon micromachined ul-trosonic transducers[会,英]/Khuri-yakub,B.T.&Degertekin,F.L.//1998 IEEE Ultrasonic Sympo
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Y2000-62005-985 0018034硅微机械加工超声换能器=Silicon micromachined ul-trosonic transducers[会,英]/Khuri-yakub,B.T.&Degertekin,F.L.//1998 IEEE Ultrasonic Symposium,Vol.2.—985～991(PC)Y2000-62005-1007 0018035电容性微机械加工超声换能器用的新检测方法=Anew detection method for capacitive micro-machined ul-trasonic transducers[会,英]/Ergun,A.S.& Temelku-
Silicon micromachined ul-trosonic transducers [Will, UK] / Khuri-yakub, BT & Degertekin, FL // 1998 IEEE Ultrasonic Symposium, Vol.2.-985-991 (PC) Y2000-62005-1007 0018035 A new detection method for capacitive micro-machined ul-trasonic transducers [Ke Ying] / Ergun, AS & Temelku-
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