【摘 要】
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进行了电解复合超声频振动加工微结构的基础试验，分析了微电流电解过程钝化现象，研究了超声频振动冲击波及负压空化作用消除电解钝化作用机理。分析了电解加工方式与超声频振动
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进行了电解复合超声频振动加工微结构的基础试验，分析了微电流电解过程钝化现象，研究了超声频振动冲击波及负压空化作用消除电解钝化作用机理。分析了电解加工方式与超声频振动协调同步方法，设计和构造了微细电解复合压电式超声频振动微细加工系统。利用微细特种加工技术制作各类截面形状、尺寸的微细阴极。进行了多种材料微结构的复合加工试验，并验证了电解复合超声频振动方法实现微细加工可行性与技术优势，研究了应用该工艺进行微结构加工的工艺特性。
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