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建立了L梁微机械梳齿谐振器的仿真模型，利用ANSYS有限元仿真软件对其进行模态和谐响应仿真分析。通过模态分析，得到谐振频率等重要性能参数以及不同L梁结构参数对它们的影响：谐振频率随着L长梁梁长的增加而减小；随着L长梁梁宽，L短梁梁长、梁宽的增加而增加。并在谐响应仿真分析中得到微机械谐振器的幅频响应特性，设计了谐振器的工艺流程和相应的掩膜版图。