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利用非本征的Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ（Ｆ－Ｐ）光纤干涉仪以及双光源，通过位移与距离的同时检测，实现了振动过程的非接触测量。本方案结构简单，信号处理方便。实验结果表明，在１ｍ ｍ 的范围内可达到分辨率０．０１μｍ，精度０．１μｍ 。
一种新型非接触式光纤振动传感器的研究
【摘 要】
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利用非本征的Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ（Ｆ－Ｐ）光纤干涉仪以及双光源，通过位移与距离的同时检测，实现了振动过程的非接触测量。本方案结构简单，信号处理方便。实验结果表明，在１ｍ ｍ 的范围内可达到分辨率０．０１μｍ，精度０．１μｍ 。
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1999年06期
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