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S7-300PLC控制系统以及现场总线在PECVD中的研究
S7-300PLC控制系统以及现场总线在PECVD中的研究
来源 :自动化应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:junpenge
【摘 要】
:
简述了S7-300PLC控制系统以及PROFIBUS-DP现场总线在制减反射膜及钝化设备中的研究。
【作 者】
:
薛升奎
张动
熊亚丽
【机 构】
:
云南天达光伏科技股份有限公司
【出 处】
:
自动化应用
【发表日期】
:
2010年3期
【关键词】
:
减反射膜
分布式I/O
ET200M
PROFIBUS-DP
antireflection film
distributed I/O
ET200M
PRO
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简述了S7-300PLC控制系统以及PROFIBUS-DP现场总线在制减反射膜及钝化设备中的研究。
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