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基于LB膜的集成味觉LAPS图像传感器(续完)
基于LB膜的集成味觉LAPS图像传感器(续完)
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:c2t2dy20
【摘 要】
:
4 实验结果与讨论为了得到较明显的效果,在制作硅传感器时先将硅片分为三个区域,不同的区域沉积不同的膜,制膜材料为油酸、卵磷脂和胆固醇.由于膜的层数越多响应越大[4],每一
【作 者】
:
贺慧琦
李蓉
叶学松
王平
刘振梅
徐志康
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2001年10期
【关键词】
:
硅传感器
CB膜
味觉
LAPS图像传感器
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4 实验结果与讨论为了得到较明显的效果,在制作硅传感器时先将硅片分为三个区域,不同的区域沉积不同的膜,制膜材料为油酸、卵磷脂和胆固醇.由于膜的层数越多响应越大[4],每一区域均沉积20层膜,为了将LB膜均匀地沉积到固体基片上,硅表面先用盐酸、氨水、双氧水和氢氟酸的溶液进行疏水化处理.
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