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针对晶圆上的芯片在测试中由于一些附加响应信号而导致测试结果与实际器件之间存在的差异,提出时域分析法.利用频域与时域之间相互变换的关系,在时域下通过时间滤波,有选择地保留或扣除一些信号响应,再由傅里叶反变换回到频域测试,这可有效地消除或抑制附加响应对结果的影响,提高芯片测试结果的准确度和可信度,文中同时给出实验过程与比较结果.