【摘 要】
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消费类电子市场对产品的便携性要求愈益强烈。薄膜集成无源器件工艺由于集成度更高、成本低且性能较好而被提了出来。本文基于硅（Si）基薄膜无源器件工艺设计了一个集成静电防护
【机 构】
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中国科学院上海高等研究院,中国科学院大学
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消费类电子市场对产品的便携性要求愈益强烈。薄膜集成无源器件工艺由于集成度更高、成本低且性能较好而被提了出来。本文基于硅（Si）基薄膜无源器件工艺设计了一个集成静电防护（electro-static discharge,ESD）功能的双频器（diplexer）,利用电磁仿真（EM）来优化双频器的性能。双频器在GPS频段的插入损耗小于1.1d B,回波损耗平均为10 d B,隔离度大于22 d B;在2.4 GHz WIFI频段的插入损耗小于1.2 d B,回波损耗为11 d B,隔离度大于30 d B;双频
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