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溅射态原位加热NiTi形状记忆合金薄膜的结构性能研究
溅射态原位加热NiTi形状记忆合金薄膜的结构性能研究
来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liqund7h
【摘 要】
:
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射
【作 者】
:
袁振宇
徐东
刘毓舒
蔡炳初
【机 构】
:
上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
:
稀有金属材料与工程
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
NiTi形状记忆合金薄膜
原位加热
织构
微驱动器
NiTi shape memory alloy thin films
in situ heating
t
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研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺。结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高。
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