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以水合三氯化钌（RuCl3·3H20）和正硅酸乙酯（TEOS）为原料，采用溶胶-热分解法制备了超级电容器用（RuO2／SiO2）·nH2O复合薄膜电极材料。研究了热处理温度及热处理时间对电极材料电学性能的影响。借助CHl660C电化学工作站对薄膜材料的电化学性能进行了测试，采用SEM、XRD、FTIR等检测手段对复合材料的微观形貌、物相结构进行了分析。结果表明，固定水合三氯化钌和正硅酸乙酯的物质的量比为10：3，当热处理温度和时间分别为350℃和2h时，复合薄膜电极具有优良的综合性能，