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基于共振光隧穿效应的角加速度传感器设计
基于共振光隧穿效应的角加速度传感器设计
来源 :计量学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:water_please
【摘 要】
:
阐述了一种基于共振光隧穿效应的角加速度传感器的设计方法,分析了其传感特性,并以共振光隧穿理论为基础,利用Mathematica软件进行了仿真分析。该加速度传感器的品质因数可以达到1.96×108,远高于经典F-P腔的品质因数8.183×104。灵敏度可以达到0.1°/nm,
【作 者】
:
李慧明
邹璐
菅傲群
王雷阳
段倩倩
桑胜波
【机 构】
:
太原理工大学微纳系统研究中心,太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2018年05期
【关键词】
:
计量学
角加速度传感器
共振光隧穿效应
灵敏度
品质因数
metrology
angular accelerometer
resonant optical tu
【基金项目】
:
国家自然科学基金(61501316,61471255,61474079,51505324),山西省归国留学基金(2015-047),山西省自然科学基金(2013011016-1),山西省人才专项(优秀人才科技创新)项目(201605D211027)
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阐述了一种基于共振光隧穿效应的角加速度传感器的设计方法,分析了其传感特性,并以共振光隧穿理论为基础,利用Mathematica软件进行了仿真分析。该加速度传感器的品质因数可以达到1.96×108,远高于经典F-P腔的品质因数8.183×104。灵敏度可以达到0.1°/nm,
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