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利用固体质谱仪和气体质谱仪分别进行了聚酰亚胺绝缘膜的表面成分及在高温烘烤过程中的放气性能和气体成分分析。结果表明 ,聚酰亚胺材料中不存在污染阴极的有害成分 ,并且经高温烘烤后 ,在 30 0℃时的平衡压强小于 1 9× 10 -3Pa。因此 ,它完全可以作为真空中的绝缘介质材料
聚酰亚胺绝缘膜的真空性能及在电真空器件中的应用研究
【摘 要】
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利用固体质谱仪和气体质谱仪分别进行了聚酰亚胺绝缘膜的表面成分及在高温烘烤过程中的放气性能和气体成分分析。结果表明 ,聚酰亚胺材料中不存在污染阴极的有害成分 ,并且经
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2001年03期
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