BST薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kingxing
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
分别以CF4/Ar和CF4/Ar/O2作为刻蚀气体,采用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术对sol-gel法制备的BST薄膜进行刺蚀.结果表明,刺蚀速率与刻蚀气体的混合比率呈现非单调特性.当CF4/Ar的气体流量比R(CF4:Ar)为10:40时,刻蚀速率达到极大值.当CF4/Ar/O2的气体流量比R(CF4:Ar:O2)为9:36:5时,刻蚀速率达到最大值,最大刻蚀速率为8.47nm/min.原子力显微镜(AFM)分析表明,刻蚀后的薄膜表面粗糙度变大。对刻蚀后的薄膜再进行适当的热处理,可以去除部分残留
其他文献
20世纪80年代海子掀起了"麦地诗潮",建构了属于他的"诗歌王国"。他的诗歌视野宏大,抒写的却是时代洪流中的个体生命意识。"亚洲铜"是海子诗歌中一个标杆式的意象引人瞩目;"月
伴随着深冷超细气流粉碎生产线、安全防爆型气流粉碎系统和大型超细粉体分级机的成功开发和安装试车成功,日前密友粉体装备制造开始研发卧式行星超细球磨机。密友行星磨分级机
作为中国乡土文化的经典著作,《边城》对中国文学和中国文化影响深远,是大陆文学家沈从文的代表作。其在当今中国乃至世界文学界上都占有非常重要地位,被誉为“一颗千古不磨
近年来,随着城市化进程的不断加快,乡村的人口流失问题日益严重,大量青壮年劳动力流向城市,出现了大量“留守儿童”、“空巢老人”,这种现象背后是乡村整体经济的衰退和乡村文化的消亡。截至2017年末,我国农村人口占全国总人口数41.5%,农村问题与我国近半数人口息息相关,2017年中央文件提出“加快培育农村发展新动能”,乡村振兴迫在眉睫。而乡村旅游可以有效带动农村经济文化发展,对于优化农村产业结构、改善
使用激光拉曼光谱仪测试了蒸馏水、瓶装饮用水和自来水的室温拉曼光谱,并用拉脱法测量了表面张力.实验结果表明:蒸馏水、瓶装饮用水和自来水的拉曼光谱基本相似,蒸馏水的拉曼
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
日前,宝兴公司Prostar 3000系列电力专用UPS系统在经过多轮的招标筛选后,最后以高性价比的优势,中标新疆华电苇湖梁发电有限责任公司#2机组(135MW及以上火电机组)UPS系统改造项目
目的观察Ⅱ~Ⅳ度痔疮患者实施吻合器环形痔切除术(PPH)后配合中药坐浴的临床疗效。方法按照2002年PPH学术研讨会制订的PPH适应证筛选出的Ⅱ~Ⅳ度痔疮患者200例作为研究组,对其实
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
本文以2011年《北京周报》英文版中《双语文件》栏目中的政治文件翻译为案例,对政治文献翻译的策略导向和技巧应用进行了相关分析和探讨研究。本文首先介绍了《北京周报》的