基于图像的晶粒定位技术研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 1次 | 上传用户:lin901102
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对基于图像的晶粒定位技术进行了研究,提出了一种利用绘制等间隔网格线定位晶粒位置的方法。首先对获取的晶圆片图像进行阈值分割,对分割后的图像进行晶粒边缘提取,依据提取的晶粒边缘和"非共线三点确定圆"的原理计算出三个相邻但不在同一条直线上的晶粒圆心坐标,计算出绘制网格的偏移和斜率,在晶圆片上绘制等间隔网格线来定位晶粒形心位置和晶粒缺失位置,精确控制微小芯片贴装过程中晶粒的拾起。实验结果表明,该方法能精确地识别出图像中的晶粒形心位置和晶粒缺失位置。
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