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FED器件的支撑结构设计和实现
FED器件的支撑结构设计和实现
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bird2000521
【摘 要】
:
使用墙式结构作为FED器件内的支撑,使用Algor专用力学有限元软件对器件各种结构的力学特性进行了数值计算,同时参照器件的电学特性后确定了支撑墙的分布密度、安装位置和装配
【作 者】
:
葛常锋
于宏宇
罗淑云
刘珩
【机 构】
:
清华大学电子工程系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
场致发射显示器
支撑墙
有限元分析
显示器件
Field Emission Display
Spacer
Finite Element Analysis
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使用墙式结构作为FED器件内的支撑,使用Algor专用力学有限元软件对器件各种结构的力学特性进行了数值计算,同时参照器件的电学特性后确定了支撑墙的分布密度、安装位置和装配误差等工艺参数,并完成了现有器件条件下的工艺实现,得到理想的结果.
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