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介绍了对高压晶闸管管芯表面溅射无机膜的装置、工艺和溅射机理。试验结果得出:在高压晶闸管管芯的表面,溅射半绝缘含氧非晶硅膜,可提高管芯的高温性能以及晶闸管的稳定性和可靠性。
高压晶闸管管芯表面保护工艺与实验
【摘 要】
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介绍了对高压晶闸管管芯表面溅射无机膜的装置、工艺和溅射机理。试验结果得出:在高压晶闸管管芯的表面,溅射半绝缘含氧非晶硅膜,可提高管芯的高温性能以及晶闸管的稳定性和
【机 构】
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永济电机工厂,永济电机工厂
【出 处】
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机车车辆工艺
【发表日期】
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1992年2期
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