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电子束熔炼具有高能量密度、高真空度等优点，能够有效地去除硅中的挥发性杂质，使其在制备太阳能级多晶硅材料方面具有巨大的优势和广阔的应用前景，目前已经实现了产业化应用，成为冶金法制备太阳能级硅材料的关键环节之一。本文在阐述挥发性杂质去除的热力学原理的基础上，对其去除效果和去除机制进行了总结。同时，针对电子束熔炼技术目前存在的问题，结合作者在这些方面的探索，从数值模拟、节能型熔炼方式以及与定向凝固技术的耦合等角度对现阶段的研究重点进行了综述，并对其未来的发展趋势进行了展望。