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化学溶液沉积(CSD)法制备YBCO薄膜研究进展
化学溶液沉积(CSD)法制备YBCO薄膜研究进展
来源 :低温与超导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caoyongtao1985
【摘 要】
:
采用CSD法制备YBCO薄膜可精确的控制组份,不需要真空设备,成为近年来的研究热点之一。文中概述了CSD法制备YBCO薄膜的研究进展,总结了在不同的CSD工艺中,起始原料、化学添加
【作 者】
:
张黄莉
赵高扬
【机 构】
:
西安邮电学院,西安理工大学
【出 处】
:
低温与超导
【发表日期】
:
2010年9期
【关键词】
:
化学溶液沉积法
YBCO薄膜
前驱液
Chemical solution deposition(CSD) YBCO film Precursor solutio
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采用CSD法制备YBCO薄膜可精确的控制组份,不需要真空设备,成为近年来的研究热点之一。文中概述了CSD法制备YBCO薄膜的研究进展,总结了在不同的CSD工艺中,起始原料、化学添加剂对YBCO薄膜热处理时间、质量、可重复性等因素的影响。
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