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掠射技术引入Ｘ射线荧光分析成为一种新的材料及薄膜分析技术。运用此技术命同材料表面及薄膜的密度、厚度、界面粗糙度、成分的深度和剖面分布等各种信息，本文介绍了掠射技术在Ｘ射线荧光分析中的应用及近年来的发展和前景。
掠射技术与X射线荧光分析
【摘 要】
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掠射技术引入Ｘ射线荧光分析成为一种新的材料及薄膜分析技术。运用此技术命同材料表面及薄膜的密度、厚度、界面粗糙度、成分的深度和剖面分布等各种信息，本文介绍了掠射技术在
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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1998年5期
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