DEPOSITION OF c-BN FILMS AND ADHESION IMPROVEMENT

来源 :Acta Metallurgica Sinica(English Letters) | 被引量 : 0次 | 上传用户：sdfcasdvgase

【摘要】

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ＤＥＰＯＳＩＴＩＯＮＯＦｃ－ＢＮＦＩＬＭＳＡＮＤＡＤＨＥＳＩＯＮＩＭＰＲＯＶＥＭＥＮＴＳ．Ｒ．Ｌｅｅ；Ｅ．Ｓ．ＢｙｏｎａｎｄＹ．－Ｗ．Ｓｅｏ１）ＫｏｒｅａＩｎｓｔｉｔｎｔｅｏｆＭａｃｈｉｎｅｒｙａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓ，Ｃｈａｎｇｗｏｎ６４１－０１０...

【出处】

：

Acta Metallurgica Sinica(English Letters)

【发表日期】

：

1996年6期

【关键词】

：

CUBIC BORON NITRIDE helicon wave plasma chemical vapor depo sition COMPRESSIVE s

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