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提出硅基片生长薄膜的薄膜电阻的测试方法，利用方形四探针技术实现对较小硅基片上生长钴的薄膜电阻的测量，完成不同生长厚度下三片薄膜硅片的薄膜电阻测试工作，得出测试结果较可靠、合理的结论，同时对提高测试实验精度的影响因素进行分析。
利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究
【摘 要】
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提出硅基片生长薄膜的薄膜电阻的测试方法，利用方形四探针技术实现对较小硅基片上生长钴的薄膜电阻的测量，完成不同生长厚度下三片薄膜硅片的薄膜电阻测试工作，得出测试结果较可
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程学院
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(项目批准号:J0721027)
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