方形四探针相关论文
从理论上分析方形四探针和直线四探针薄层电阻测试方法中探针游移所造成的系统偏差,推导出计算游移偏差的公式,并作图展示探针游移......
介绍了改进的范德堡法和鲁美采夫斯基法,即此时用方形四探针分别替代边缘的触点和直线四探针,在大直径硅片上进行微区电阻率的测量......
提出硅基片生长薄膜的薄膜电阻的测试方法，利用方形四探针技术实现对较小硅基片上生长钴的薄膜电阻的测量，完成不同生长厚度下三片薄......
提出用改进的Rymaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法 ,从理论上推导出方形四探针产生游移时的R......
