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以锌粉为原料，五氧化二磷为掺杂源，采用化学气相沉积法制备出磷掺杂的多角锥状纳米ZnO：P，分别用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射议（XRD）和拉曼光谱手段研究了不同制备温度下磷掺杂对于ZnO晶体生长、拉曼模式的影响，以及磷元素有效掺杂的机理，结果表明，掺入P改变了ZnO的择优生长，随着制备温度的升高，多角锥结构逐渐细化，磷元素更容易掺入ZnO，晶格畸变加剧，晶格缺陷增多；ZnO：P对温度具有选择性，高温下P取代Zn，温度升高有利于实现znO的p型掺杂。