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Ga—In—As—Sb系合金固—液平衡和人工神经网络预报
Ga—In—As—Sb系合金固—液平衡和人工神经网络预报
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:andytong0123
【摘 要】
:
本文用DTA法测量了Ga-In-As-Sb系合金的液相线温度,并用滑舟法在GaSb衬底上生长液相外延膜,并用电子探针法分析膜成分。在此基础上利用实验数据和文献数据训练人工神经网络模型,神经网络模型用义叉
【作 者】
:
严六明
吴伟
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1995年8期
【关键词】
:
固-液平衡
神经网络
半导体材料
GaInAsSb系
Liquid phase epitaxyNeural networksPhase equilibria
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本文用DTA法测量了Ga-In-As-Sb系合金的液相线温度,并用滑舟法在GaSb衬底上生长液相外延膜,并用电子探针法分析膜成分。在此基础上利用实验数据和文献数据训练人工神经网络模型,神经网络模型用义叉检验法测定是否过拟合。经测试合格的神经网络可以预报液相线温度和外延层组成。
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