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主要研究掺镉ZnO薄膜的光学禁带。采用溶胶-凝胶(Sol—Gel)旋转涂覆法,在Si(100)上生长掺镉ZnO薄膜,对薄膜的XRD分析表明,掺镉ZnO薄膜仍为六角纤锌矿结构,并沿C轴择优取向生长。通过实验优化出本工艺条件下的较佳参数:退火温度为800℃,x(Cd)-6%~8%;以普通玻璃为基片的透射光谱表明掺镉ZnO薄膜的禁带宽度约为3.22eV,比纯ZnO晶体禁带宽度3.30eV明显减小,适度掺镉可降低薄膜的光学禁带宽度。