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SiC电子输运性质研究及散射率的简化计算
SiC电子输运性质研究及散射率的简化计算
来源 :自然科学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaoml0000
【摘 要】
:
用流体动力学平衡方程研究了4H-SiC的漂移速度,平均电子能量等输运性质,并考虑了非抛物能带效应和各向异性效应,同时对散射率的计算进行了简化,并用简化公式研究了3C-SiC的线性和非
【作 者】
:
全宏俊
汪秉宏
【机 构】
:
中国科学技术大学近代物理及非线性科学中心,中国科学技术大学近代物理及非线性科学中心
【出 处】
:
自然科学进展
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
输运性质
非抛物能带效应
各向异性
散射率
碳化硅
半导体器件
流动动力学平衡方程
【基金项目】
:
国家重点基础研究规划项目(九七三项目),,国家攀登计划“非线性科学”,,国家自然科学基金重点项目(批准号:19932020),,国家自然科学基金(批准号:19974039,59876039)
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用流体动力学平衡方程研究了4H-SiC的漂移速度,平均电子能量等输运性质,并考虑了非抛物能带效应和各向异性效应,同时对散射率的计算进行了简化,并用简化公式研究了3C-SiC的线性和非线性输运,在场强不超过200kV/cm时,引起的误差仍在允许范围内。
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