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分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理，介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明，该干涉仪的绝对测量范围为０．３～１．５ｍ，测量误差为０．１～０．３ｍｍ。
电调频半导体激光绝对测量干涉仪
【摘 要】
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分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理，介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明，该干涉仪的绝对测量范围为０．３～１．５ｍ，测量误差为０．１～０．３ｍｍ。
【机 构】
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清华大学精仪系
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1996年05期
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