【摘 要】
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介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计,以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析。系统采用355nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源,设计了光路机械结构和基于D
【机 构】
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河南科技大学机电工程学院; 河南省机械设计及传动系统重点实验室; 天津大学精密仪器与光电子工程学院;
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目(项目编号:2012ZX04004011);河南省教育厅资助项目(项目编号:14B460028);河南科技大学校青年基金资助项目(项目编号:2012QN0025);创新基金资助项目(项目编号:20132CX009)
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介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计,以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析。系统采用355nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源,设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板,驱动3D运动平台带动样品运动实现加工。上位机软件对加工图像进行解析,并对加工过程进行控制。光路结构的共焦特性,保证了CCD的照明光源和加工光源共焦平面,实现了自动聚焦和在线观测功能。利用该微加工系统,针对单晶硅、光敏玻璃、陶瓷、金属等材料展开了多种加工实验,验证了系统性能的可靠性和实用性,通过对不同材料的加工结果进行了观测和分析,对加工参数和工艺进行了优化,总结了紫外脉冲激光针对不同材料的加工特性。
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